继续和水发生如下反应
(SiO
4
)
4
+ 4H
2
0→Si(OH)
4
+ 4OH
-
在式
(1)中消耗的 OH
-
得到补充
,在反应达到平衡后, OH
-
基本保持不
变
,如此清洗液的 pH 值可以保持在一定范围而不持续下降, 能够获
得稳定的清洗效果
.
4.表面沾污的来源
Si 片内部的原子排列整齐有序,
每个
Si 原子的 4 个价电子与周围
原子的价电子结合构成共价键结构。但是经过切割工序后
, Si 片表
面垂直切片方向的共价键遭到破坏而成为悬空键,这种不饱和键处
于不稳定状态
, 具有可以俘获电子或其他原子的能力, 以减低表面能,
达到稳定状态。当周围环境中的原子或分子趋近晶片表面时
, 受到表
面原子的吸引力
, 容易被拉到表面, 在 Si 晶片表面富集,形成吸附, 从
而造成污染。理想表面实际是不存在的
,
实际的
Si 片表面一般包括
三个薄层
: 加工应变层、氧化层和吸附层, 在这三层下面才是真正意
义上的晶体
Si
。对于太阳能用
Si 片来说, 加工应变层是指在线切工
艺时所产生的应变区
, 氧化层指新切出的表面与大气接触造成的氧化
薄膜
, 厚度在几纳米到几十纳米之间, 和留置在空气中的时间有关,
这也是切割后的
Si 片如果不能马上进入下一工序, 要尽快浸泡到纯
水中的原因。
Si 片表面的最外层即为吸附层, 是氧化层与环境气氛
的界面
, 吸附一些污染杂质。这些沾污可以分为分子、离子、原子或
者分为有机杂质、金属和粒子。如图所示。