三氯氢硅和氢气从石墨管的上部注入，在石墨管内壁 1500℃高温处

反应生成液体状硅，然后滴入底部，温度回升变成固体粒状的太阳能

级多晶硅。 

3）重掺硅废料提纯法生产太阳能级多晶硅 

据美国Crystal Systems资料报导

[1]

，美国通过对重掺单晶硅生

产过程中产生的硅废料提纯后，可以用作太阳能电池生产用的多晶

硅，最终成本价可望控制在 20 美元/Kg以下。 

 

（二）目前国内外多晶硅生产现状 

1，国外多晶硅生产现状

[1]

目前国外多晶硅生产在质量上已能满足大规模集成电路用直拉

单晶硅和电力电子器件用的区熔单晶硅的要求，并不断以新工艺技

术、向更大规模化、更低生产成本方向发展。见表 1。几大公司垄断

了多晶硅生产技术，保持各自的份额，同时满足了不断发展的各种半

导体硅芯片的需要。 

表 1   国外多晶硅公司生产现状 

公司 

国别 

原料工艺反应器 

产品 

形状

 

产品 

定位

 

2004 年 

产 量 

2005 年 

产量预期

Hemlock 

美国 

HCL+工业硅 

西门子工艺与反应器

 

棒状 

电子级 

7000 

7800 

TokuYama 

日本 

H

2

+CL

2

+工业硅 

西门子工艺与反应器

 

棒状 

电子级

 

4800 

4800 

WacKer 

德国 

H

2

+CL

2

+工业硅 

西门子工艺与反应器

 

棒状 

电子级

 

4600 

5000