中央控制器接受指令，通过网络系统下达到现场控制器，现场控制器根据实际情况分析判
断，给执行机构下达动作命令。

4、多晶硅铸锭炉控制系统软件控制流程

       强大的硬件系统，必须有相应的控制软件提供强有力的控制算法，合理的控制程序作
为保障，才能使控制的参数得到优化，达到控制的精度，并提供设备故障的自诊断，为设
备的可靠、安全运行提供保障。
(1)工艺配方编辑系统
       提供设备工艺配方编辑的环境，使用户方便地对工艺配方进行编辑输入、修改。提供智
能化的工
艺配方合理性检查，排除工艺配方中错误以及不合理的地方。
(2)长晶状况实时分析判断系统
       在铸锭炉的工艺运行过程中，可分为预热流程、熔化流程、长晶流程、退火程和冷却流程
等几个主要流程。在这几个流程运行过程中，长晶状况实时分析判断系统要实时分析判断各
个长晶参数，以便随时对它们作出调整，以最合适的运行参数进行控制。长晶状况实时分析
判断系统是设备控制的核心部分，对它的合理规划和合理设计，充分体现设备的创新性，
具有完全的自主的知识产权。
        在预热阶段，对坩埚中硅料进行缓慢的加热，并排除炉内的气体，使空气中的有害气
体成分对硅料不会产生影响。在熔化阶段，加热温度超过硅料融化温度，使硅料充分融化为
液态，为下一步凝固长晶做好准备。这期间长晶状况实时分析判断系统，通过传感器随时对
炉内硅料融化情况作出分析判断，通过人机对话平台，随时作出提示。
       在长晶阶段，长晶状况实时分析判断系统，使处于恒温场中的熔融硅料通过保温层的
提升系统，坩埚中的熔融硅料自下向上，缓慢地进入冷场中，完成凝固长晶。由于保温层的
提升速度可自由控制，因此长晶速度就可控制，这样就可生长出高品质的硅锭。这期间长晶
状况实时分析判断系统，通过传感器随时对炉内硅料生长情况作出分析判断，通过人机对
话平台，随时作出提示。
       在退火阶段，长晶状况实时分析判断系统对恒温场中的温度作调整，防止由于降温过
快对已长晶完成的硅锭造成不良影响。
       在冷却阶段，硅锭自然降温，为出炉做好准备。

5 、结论

多晶硅铸锭炉是我所 2006 年国家 863 科研攻关项目。于 2006 年立项经过两年艰苦攻关，
在借鉴国外先进技术的基础上，结合本国国情，

2008 年完成工艺实验，取得了良好的控制

效果。并已基本定型。

DDL 一 240 多晶硅铸锭炉的工艺流程及控制系