也可以采用干盘管进行分散处理。生产车间出扩散区外，温湿度均只要满足人体舒适性即可，

建议冬夏能有一定变化，这样既可节能，又让人能适应室内外温度变化，不易感冒。扩散区

由于对洁净度要求较高，需要设计独立的空气处理系统，主要关注的是洁净度，该区散热

量也较大。酸排气量不小于

10000M3/H，一般采用湿式洗涤、中和的处理方式。有机排气量

也不小于

10000M3/H，一般采用干式吸附法处理。热排风量也不小于 13000M3/H，因为只

是普通排气，可以不用处理，直接排放即可。相对而言，硅烷处理要谨慎，否则容易起火。

 

整个施工试车过程中，特别要注意的是水，气通入设备之前除做好强度严密性试验，确保

无渗漏外；务必保证清洗、吹扫试验要干净彻底，否则，设备一旦被污染，再次清洗不但代

价昂贵，甚至会造成重大损失。二次配管时，某些设备的特殊需要，则根据业主的要求和初

投资而定，如扩散炉具有较强腐蚀性的高温酸性排风；供强酸、强碱、特气的多层管路 ，

PECVD、刻蚀机的隔声泵房等。! 

          厂房设计和施工公司的选择，是考验投资方智慧和眼光的大事，切不可因一时便宜而

选择之。没有选择好专业的公司，将会付出成沉重的代价。

 工厂建成以后，最重要的就是运

行维护。太阳能电池厂房动力保障是一个复杂的系统，需要至少

2-4 名理论功底扎实，动手

能力强、富有高度责任感的工程师核心队伍，经常对各动力系统进行巡察，及时分析和解决

出现的问题，甚至适时提出改造方案；否则不能及时发现隐患，很可能等问题出现时导致

停产。