块出现相对的横向移动,造成切割方向的移动。
三、硅片切斜带来的危害
在硅片切割过程中,钢线在水平方向的受力为牵引力、摩擦力,
如果出现切斜的现象,必然引起钢线与硅块的水平位置发生相对的
移动。这时钢线在水平方向的受力又增加了一个剪切力,加大了钢线
断线的风险。
硅片切割中的切斜部分硅料,大大降低硅片合格率,降低生产效
率,增加了硅片加工的成本。
四、从不同的方面分析硅片切斜问题
1、切割中钢线张力过小
在正常切割硅片过程中,应该保持钢线一定的张力。如:直径
为
0.13mm 的钢线张力设定 22-23N;直径为 0.12mm 的钢线
张力设定
20-21N。只有钢线保持一定的张力才能在高速转动下,
携带砂浆将硅块进行切割。
如果出现张力过小
,就会使得钢线的牵引力减小,而受到的
摩擦力过大。就会引起钢线水平的抖动,引起切斜。一般常见的有
以下两种形式:
(
1)张力臂的气缸漏气,导致钢线的张力过小。
(
2)钢线在导轮上缠绕时,前后分布不均匀。导致绕线的
部分的导轮相向发生移动,进而引起导轮上钢线张力减小,变得
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