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5、边缘线痕:由于硅块倒角处余胶未清理干净而导致的线痕。

    表现形式:一般出现在靠近粘胶面一侧的倒角处,贯穿整片硅片。

    改善方法:规范粘胶操作,加强检查和监督。

二、

TTV(Total Thickness Variety)

TTV 不良,都是由于各种问题导致线网抖动而产生的硅片不良,包括设备

精度问题、工作台问题、导轮问题、导向条粘胶问题等。

1、设备精度:

导轮径向跳动

<40μm,轴向跳动<20μm。

改善方法:校准设备。

2、工作台问题:

工作台的不稳定性会导致大量

TTV 不良的产生。

改善方法:维修工作台。

3、导轮问题:

因导轮问题而产生的

TTV 不良,一般出现在新导轮和导轮磨损很大的时候。

改善方法:更换导轮。

4、导向条粘胶问题:

当导向条下的胶水涂抹不均匀,出现部分空隙,在空隙位置的硅片,易出

TTV 不良问题。

改善方法:规范粘胶操作。

三、台阶

台阶的出现,是由切片过程中的钢线跳线引起,而导致钢线跳线的原因,

包括设备、工艺、物料等各方面的问题,部分如下:

1、砂浆问题:

砂浆内含杂质过多,没有经过充分过滤,造成钢线跳线。