5、边缘线痕:由于硅块倒角处余胶未清理干净而导致的线痕。
表现形式:一般出现在靠近粘胶面一侧的倒角处,贯穿整片硅片。
改善方法:规范粘胶操作,加强检查和监督。
二、
TTV(Total Thickness Variety)
TTV 不良,都是由于各种问题导致线网抖动而产生的硅片不良,包括设备
精度问题、工作台问题、导轮问题、导向条粘胶问题等。
1、设备精度:
导轮径向跳动
<40μm,轴向跳动<20μm。
改善方法:校准设备。
2、工作台问题:
工作台的不稳定性会导致大量
TTV 不良的产生。
改善方法:维修工作台。
3、导轮问题:
因导轮问题而产生的
TTV 不良,一般出现在新导轮和导轮磨损很大的时候。
改善方法:更换导轮。
4、导向条粘胶问题:
当导向条下的胶水涂抹不均匀,出现部分空隙,在空隙位置的硅片,易出
现
TTV 不良问题。
改善方法:规范粘胶操作。
三、台阶
台阶的出现,是由切片过程中的钢线跳线引起,而导致钢线跳线的原因,
包括设备、工艺、物料等各方面的问题,部分如下:
1、砂浆问题:
砂浆内含杂质过多,没有经过充分过滤,造成钢线跳线。