16、按 F15 检查线速度的调节因子是否设定在 100%？按 F15 检查向前/向后进线的

按钮应没有被激活（

F5）？按 F15 检查切割进线的方向设定是否正确 （F6， 向左侧进给

 

“ß”）？按 F15  检查断线检查键应被激活  （F8）？按 F15 检查接地检查键应被激活 
（

F9）？按 F15/S10 检查线的张力（自动模式下）设定值是否正确 （应为：35N）？按

F15/S10 检查线速度在自动模式下设定是否正确（应为：12m/s）？

　　

17、按 F16/S10 剩余时间值是否正确？在开始自动切割前检查不允许有报警信息存

在。将门用钥匙关闭并锁紧（

off 侧），并将钥匙取出保管好。在按

“自动开始切割模式“后将

最顶层画面显示在窗体上，并确认切割时间是否正确？在按

“自动开始切割模式“后将最顶

层画面显示在窗体上，并确认此次切割所要消耗的线长是否正确？

　　

18、开始切割。按

“《-》”按钮。

　　六、切割中注意事项

　　在切割过程中要观察机器的运行状况

 （轴承的温度；浆料的温度/ 浆料的流量；

线的张力等。

　　七、切割后检查步骤

　　

1、在切割结束时，按

“ENTER”键确认信息；

　　

2、在顶层画面按 F3 键，将自动模式改为

“SETUP”模式；

　　

3、用钥匙将门解锁（to 

“ON” side）；将前门打开；

4、检查晶棒是否被完全切透成薄片；（如果没有，请在 profile 里将切割结束的位置再

向下切

 1mm ，最低位置设定为： 

–133.5 mm ，并继续运行切割。）

　　

5、按 F13，S10，将进给速度降为： 20mm/min ；在手动模式下，按 S13，升起切

割后的晶片，将工作台升到

 》 +1mm.同时要检查所有的切割线在升起过程中正常。按 F13，

 

S2 。使返回工作台按钮闪烁，并将作业台自动回升到装/卸工件的位置。

　　

6、将工件解开缩紧。

　　

7、将工件从机器中取出。

　　

8、关上前门。

　　八、脱离硅片

　　两人各持夹持导轨的一端，将晶棒移出泡片盒，来到脱胶水槽上方，用力将晶棒

翻转过来，放在水槽中。先用洁净的冷水冲洗硅片，将付着在硅片上的浆料冲洗干净，然后