量。在维持其中一个量不变的情况下均有较大的提升空间。其次在整个实验过程中，对于切
割质量的主要影响因素为锯痕片（硅片表面磨削痕迹大于

20um）。

　　从锯痕片产生的位置结合切割线在切割过程中的磨损情况，其产生的主要因素为结构
线在切割过程中磨损情况较普通直钢丝严重。正常的直钢丝在同样的切割条件下切割同样的
负载线损不超过

10um（以 120um 型号切割线为例），而结构线的线损可达到 15um。这就

导致了结构线在切割过程中的椭圆度变化会较大，从而影响对硅片表面的磨削均匀度，但
这种情况可以通过砂浆的配比使用情况进行优化，使切割质量在我们的可控制范围内。同时
由于结构线本身的特殊结构，虽然切割线的线速较大但本身在切割过程中并不易发生断线
（实验过程中未发生断线情况）。

　　

5、实验结论

　　通过结构线在实际多晶硅切割中的应用得出：

　　

1、    结构线在多线切割中的应用较普通直钢丝有明显的切割能力强的优势，其携砂能

力可提高

25%以上。

　　

2、    在实验过程中对硅片的磨削程度并没有因为结构线本身的结构特性而增大对硅片

表面的损伤。

　　

3、    实验涉及砂浆耗用量及工作台速度可进行近一步调整，预期可提升 20%。

　　

4、    虽然结构线本身价格较高，但结合纱线液以及设备利用率，通过使用结构线能够

最大化的降低成本消耗。

　　

5、    结构线的使用对切割的整体良率有明显的提高，在与普通直钢丝切割成本相同的

情况下提高良率

3 个百分点以上。