所造成的影响

 ，即 AMC 问题，并且要积极做好废气排放的处理和控制工作。 通过环境管

理体系的国际认证

(ISOl40o1)和职业安全卫生管理体系的国际认证(OHSAS18001)是国内半

导体企业通往国际市场的通行证。国家环保部门对半导体制造废气排放的管理也经过了一个
从无到有，并逐步完善的过程。目前上海市已经于

2006 年 10 月 颁布了新的地方性半导体

行业标准

 ，于 2007 年 2 月开始执行 ，并不再执行 GB 16297—1996《大气污染物综合排放

标准》，结束了没有半导体行业标准的历史

 。上海地方性行业标准相较于原 《大气污染物综

合排放标准》严格了许多

 ，尤其新增加 了对 VOC 废气处理系统的控制标准_6 J，即 VOC

排放速率大于

0．6 kg／h，处理设施的最低处理效率 为 88％；现 有污染源 自 2008 年 1 月

 

1 13 起执行该 限值；新污染 源 自 2007 年 2 月 1 日起执行该限值 。 
  目前国家环保总局正在进行调查研究 ，相信不久将出台国家性的半导体污染物排放行业
标准。新标准将对半导体企业提出更高的环保要求，促进国内半导体废气处理技术的进步和
发展。