工艺决定，回收碳化硅中微粉较新碳化硅中微粉略多

2-3%。

　　

2．根据试验部分，分别抽测切割完毕后的 3 组废砂浆若干次进行检测，检测后发现不

同回收砂比例切割后的废砂浆中所含铁粉有较大差别，因为回收砂比例增大后回收砂对切
割质量产生一定的影响，导致钢线摩擦加大，使铁粉含量增加。

　　四、不同回收砂比例对硅片质量的影响

　　从上述检测结果不难看出，随着回收砂比例的增大，钢线磨损增加，导致切割末端钢
线直径变小，断线的几率也就随之增大；而且随切割时间的推移，碳化硅颗粒不断破碎磨
损，切割能力必定有所降低，那么硅片出现锯痕的几率就会增加，并且参加完整个切割过
程后，胶面出刀部位很容易出现硅片小崩边现象。

　　

1．根据机床试验部分对切割后的硅片若干组样品进行锯痕检测，从检测结果看出硅片

锯痕值都能满足生产标准要求，但是不同回收砂比例切割后的硅片锯痕有一定区别，回收
砂比例越大，锯痕越大，基本呈线性关系，每提高

10%比例的回收砂，硅片锯痕值增大约

0.8um。

　　

2．根据机床试验部分对切割后的硅片若干组样品进行 TTV 检测，从检测结果看出硅

片

TTV 值都能满足生产标准要求，但是不同回收砂比例切割后的硅片 TTV 有一定区别，

回收砂比例越大，

TTV 值越小，因为回收砂比例增大后对硅的磨损普遍下降尤其是入线口

处，每提高

10%比例的回收砂，硅片 TTV 值减小约 1.5um。

　　

3．由硅片 TTV 和锯痕检测不难发现，不同回收砂比例切割硅片质量参数有不同之处 ，

但 是 都 符 合 生 产 质 量 的 要 求 。 而 对 应 不 同 回 收 碳 化 硅 使 用 比 例 所 切 割 的 合 格 率 为
95.45%、95.62%、95.23%。随着回收砂比例的增大，切割质量并未见多大影响，而且也并不
是随比例增加呈线性关系。

　　五、结论

　　通过试验数据可以看出，其它切割条件相同，使用不同回收砂比例切割，如果质量不
稳定会使硅片切斜的几率增大，导致锯痕增大，同时增大回收砂比例也会对胶面出刀小崩