时被切割的，只要有一条切割线断裂，所有部分切割的硅片都不得不丢弃。

  然而，使用

更粗更牢固的切割线也并不可取，这会减少每次切割所生产的硅片数量，并增加硅原料
的消耗量。

　　硅片厚度也是影响生产力的一个因素，因为它关系到每个硅块所生产出的硅片数量。
超薄的硅片给线锯技术提出了额外的挑战，因为其生产过程要困难得多。除了硅片的机
械脆性以外，如果线锯工艺没有精密控制，细微的裂纹和弯曲都会对产品良率产生负面
影响。超薄硅片线锯系统必须可以对工艺线性、切割线速度和压力、以及切割冷却液进行
精密控制。

　　无论硅片的厚薄，晶体硅光伏电池制造商都对硅片的质量提出了极高的要求。硅片
不能有表面损伤（细微裂纹、线锯印记），形貌缺陷（弯曲、凹凸、厚薄不均）要最小化，
对额外后端处理如抛光等的要求也要降到最低。

　　新一代线锯产品

　　为了满足市场对于更低成本和更高生产力的要求，新一代线锯必须提升切割速度，
使用更长的硅块从而提高切割荷载。更细的切割线和更薄的硅片都提升了生产力，同时，
先进的工艺控制可以管理切割线拉力以此保持切割线的牢固性。

　　使用不止一组切割切割线是在保持速度的前提下提高机台产量的一个创新方法。应
用材料公司最新的

MaxEdge? 系统(图三 3)采用了独特的两组独立控制的切割组件(图 4)。

　　

MaxEdge 是业界第一个专门设计使用细切割线的线锯系统 ，最低可达到 80μm。相

对于业界领先的应用材料公司

HCT B5 线锯系统，这些改进减少了硅料损失使产量提高

多达

50%。

　　

　　更高生产力
的线锯系统在同
样的硅片产量下
可以减少机台数
量。因此，制造
商可以大幅降低
设备、操作人员
和维护的成本。

　　降低硅片的
消耗量也就是直
接降低了太阳能
电力的每瓦成本。