SiC（其余为 β－SiC

 

），在烧结成瓷后

,在 2000 ℃下保温，在发生 β 一

SiC→α－SiC 转化的同时晶粒长大成柱状，经这样热处理可以使韧性提高 1 倍。
可加工性实验表明这种显微结构的

SiC 比一般 SiC 陶瓷磨削速度提高 2.5 倍，

钻孔速率提高

3

 

倍以上。

（

3） 可加工陶瓷材料的加工技术

 

陶瓷材料的加工可根据材料的种类、工件的形状、加工精度、表面粗糙度、加

工效率和加工成本等因素选择不同的加工方法。常见的工程陶瓷加工技术主要有
以下几种

:机械加工、电火花加工、化学机械加工、激光/等离子加工、超声波加工、

高压磨料水射流加工以及各种复合加工工艺。

工程陶瓷加工技术分类

机械加工

切削、磨削、钻孔等

高能束加工

放电加工
高压磨料水加工
超声波加工
激光

/等离子加工

刻模放电、线切割放电加工
高压磨料水加工、高压水加工

——

　　　

激光

/等离子加工激光、等离

子、电子束加工

化学加工
复合加工

其他加工

化学蚀刻、化学机械加工
化学机械加工、电解磨削、超
声机械磨削、电火花磨削、超
声电火花复合加工、电解电

 

火花复合加工、电解电火花机
械磨削复合加工
塑性加工

１　机械加工

机械加工是陶瓷材料的传统加工技术，也是应用范围最广的加工方法。机械

加工主要是指对陶瓷材料进行车削、切削、磨削、钻孔等。其工艺简单，加工效率
高，但由于陶瓷材料的高硬、高脆，机械加工难以加工形状复杂、尺寸精度高、表
面粗糙度低、高可靠性的工程陶瓷部件。
２　放电加工

1947 年 B.R.Lazarenko 等提出了放电加工硬质金属材料的思路。80 年代

末

,放电加工技术被引入陶瓷材料加工领域。研究表明:当单相或陶瓷/陶瓷、陶瓷/

金属复合材料的电阻小于

100Ω·m 时,陶瓷材料可以进行放电加工。放电加工是

一种无接触式精细热加工技术

,首先将形模和加工元件分别作为电路的阴、阳极，

使用液态绝缘电介质将两极分开，通过悬浮于电介质中的高能等离子体的刻蚀
作用，使表层材料发生熔化、蒸发或热剥离而达到加工材料的目的。由于加工过
程中模具未与工件直接接触，故无机械应力作用于材料表面，因此放电加工是
理想的加工高脆、超硬陶瓷材料的方法，但放电加工无法对不导电的材料进行加
工。
３　高压磨料水加工

1968 年,美国密苏里大学的诺曼·弗兰兹博士获得了第一个水射流切割技术

——

专利

高压水射流

,高压水磨料射流加工技术

[8]

开始在工程领域得到应用。工

程陶瓷通常为高强、超硬材料，纯水射流加工需要约为

700～1000MPa 的高压

 工程中很难实现，而磨料水射流可大幅提高冲击能力。一般磨料采用天然石榴
石。高压磨料水射流加工属于高能束加工技术，其原理是陶瓷表面在高达

2～3