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单晶炉等径控制系统设计

单晶炉等径控制系统设计

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级别:| 积分:0 分 | 浏览:72178 | 大小:16.00KB | 下载:3998 次 | 上传:2014-01-17

简介:

直拉式单晶炉是以直拉法从熔化的多晶硅熔液中生长硅单晶的电子专用设备。而等径控制是单晶炉自动控制的核心。

         
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