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微 纳机电系统发展特点及前景

微 纳机电系统发展特点及前景

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简介:

微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)是微米/纳米技术的重要组成部分,逐渐形成一个新的技术领域。MEMS已经在产业化道路上发展,NEMS还处于基础研究阶段。

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