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关于多线切割线痕问题

关于多线切割线痕问题

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级别:| 积分:0 分 | 浏览:74843 | 大小:16.02KB | 下载:4093 次 | 上传:2013-10-18

简介:

硅片表面出现单一的一条阴刻线(凹槽)、一条阳刻线(凸出),并不是由于碳化硅微粉的大颗粒造成的,单晶硅、多晶硅在拉制过程中出现的硬质点造成跳线,而形成的线痕。

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