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薄膜淀积技术

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级别:| 积分:0 分 | 浏览:78830 | 大小:79.00KB | 下载:5093 次 | 上传:2013-03-22

简介:

1 引言; 2 讨论; 2.1 真空薄膜淀积理论的研究概况; 2.2 常用真空薄膜淀积技术; 2.3 热氧化法(thermal Oxidation); 2.4 电镀法(plating); 2.5 物理淀积; 3 结论;

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