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评述上排气技术在硅单晶拉制工艺中的应用

评述上排气技术在硅单晶拉制工艺中的应用

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简介:

热场的结构设计对单晶的品质影响很大,而热场的排气同样很重要。通常国内使用最多的是下排气,上排气技术的使用还不常见。

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