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扩散部工艺培训

扩散部工艺培训

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级别:| 积分:100 分 | 浏览:72943 | 大小:540.00KB | 下载:4027 次 | 上传:2013-11-08

简介:

扩散部按车间划分主要由扩散区域及注入区域组成,其中扩散区域又分扩散老区和扩散新区。扩散区域按工艺分,主要有热氧化、扩散、LPCVD、合金、清洗、沾污测试等六大工艺。本文主要介绍热氧化、扩散及合金工艺。

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