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单晶炉维修和保养规程

单晶炉维修和保养规程

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级别:| 积分:60 分 | 浏览:78875 | 大小:64.00KB | 下载:4903 次 | 上传:2013-03-26

简介:

坩埚轴驱动部件的维修; 谐波减速器的维修; 籽晶提拉部件的维修; 水冷系统的维修; 隔离阀的维修; 管道的维修; 单晶炉常见故障现象、原因及排除方法; 单晶炉部件拆装;

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