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薄膜的制作方法与膜厚的测试

薄膜的制作方法与膜厚的测试

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级别:| 积分:0 分 | 浏览:78344 | 大小:20.87KB | 下载:4900 次 | 上传:2013-03-22

简介:

真空蒸镀法; 蒸发分子的碰撞几率和平均自由程; 蒸发物质的形态; 特殊的蒸发; 瞬时蒸发法; 无机化合物的蒸发; 溅射法; 辉光放电和溅射现象; 溅射率;

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