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拉晶工艺的相关知识

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级别:| 积分:0 分 | 浏览:78838 | 大小:170.50KB | 下载:4725 次 | 上传:2013-03-22

简介:

一、与杂质有关的几个概念 二、掺杂剂的选择 三、根据杂质在晶体中的扩散系数选择 四、常用掺杂剂 五、掺杂量的计算(轻掺杂时) 六、纵向电阻率均匀性的控制 七、径向电阻率均匀性的控制 八、生长层定义 九、直拉法工艺中消除旋转性条纹 十、消除一般性杂质条纹的办法 十一、强磁场中拉单晶(MCZ)的改进作用

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