硅片不良的解决办法

一。断线：如何让预防断线；断线后如何处理（

M&B。NTC  HCT）把损失降低到最少

二。硅片崩边。线式崩边

 点式崩边 倒角崩边

三。厚薄不均：一个角偏薄，厚薄不均
四。线痕：密集线痕

 亮线线痕  

五。花污片：脱胶造成的花污片

 清洗造成的花污片

接下来我将对以上五种关键不良做从

5M1E6 个方面做详细的分析 预防 善后 等。

具体是什么参数比如

0.10 钢线要求瞬间破断力多少？1200# 1500# 2000#碳化硅的颗粒圆形

度

 粒径大小要求 黏度 张力要求多少等 我在这里就不提供了 大家去按照这个方向去找对策

做计划（

P），做好可量化的点检表（D），主管亲自抓班长去督导（C），总结检查的结

果进行处理，成功的经验加以肯定并适当推广、标准化；失败的教训加以总结，以免重现，
未解决的问题放到下一个

PDCA 循环（A）。

断线善后处理
首先做好断线记录（断线时间、机台号、部位、切深）留好线头
1.
查明断线原因及断线情况

.

2.
急时上报，未经同意，不得私自处理。
3.
处理流程：

1.在出线端断线,宽度不超过 10 毫米的直接拉线切割.

2.切深

≦60mm 中部或进线端断线，以 30mm/min 直接升起，迅速布线，8000 流量砂浆冲洗，

冲片时在线网上铺上无尘纸，
冲开粘在一起的片子后，迅速把晶棒降到距线网

2mm 处，然后

以

10mm/min 的进给认真仔细的

“认刀”。3.中部或进线端断线，切深在 50mm---80mm 之间

的，以

10mm/min 的速度升料到距进刀处 30--40 毫米,，停止。线速调到 2m/s，以 2%走线

1cm，以调平线网，停止。打开砂浆 8000 流量均匀冲片子。把晶棒两侧的线网小心的剪掉
（剪时要用手捏着）

,留出 3-4 厘米的线头,另一端不剪.(进线端有线网的一定要保留该部分

线网

,以便重新布线.剪两侧线网时一定要用手或其他夹紧物,夹紧预留的线网头.)布线网,重

新切割。

4 进线端或中部断线切深超过 80mm 的视情况能认刀的就认刀否则就反切或直接拉

线正向切割。
4.进线端断线，第一次断线，切深在 80mm.1 换掉放线轮，用一个空的收线轮来代替。以低
于原

2N（左 19 和右 21）的张力，切割线方向改为:右，其他参数不变,手动 2m/s 的线速走

1m,不要开砂浆。2 把晶棒提升至 30---40mm 处，重新对接焊线，焊线时要焊接均匀，焊接