太阳能硅片的线切割机理就是机器导轮在高速运转中带动钢线,从而由钢线将聚乙二
醇和碳化硅微粉混合的砂浆送到切割区,在钢线的高速运转中与压在线网上的工件连
续发生摩擦完成切割的过程。
在整个切割过程中,对硅片的质量以及成品率起主要作用的是切割液的粘度、碳化硅
微粉的粒型及粒度、砂浆的粘度、砂浆的流量、钢线的速度、钢线的张力以及工件的
进给速度等。
一、切割液(
PEG)的粘度
由于在整个切割过程中,碳化硅微粉是悬浮在切割液中而通过钢线进行切割的,所以
切割液主要起悬浮和冷却的作用。
1、切割液的粘度是碳化硅微粉悬浮的重要保证。由于不同的机器开发设计的系统思维
不同,因而对砂浆的粘度也不同,即要求切割液的粘度也有不同。例如瑞士线切割机
要求切割液的粘度不低于
55,而 NTC 要求 22-25,安永则低至 18。只有符合机器要
求的切割标准的粘度,才能在切割的过程中保证碳化硅微粉的均匀悬浮分布以及砂浆
稳定地通过砂浆管道随钢线进入切割区。
2、由于带着砂浆的钢线在切割硅料的过程中,会因为摩擦发生高温,所以切割液的粘
度又对冷却起着重要作用。如果粘度不达标,就会导致液的流动性差,不能将温度降
下来而造成灼伤片或者出现断线,因此切割液的粘度又确保了整个过程的温度控制。
二、碳化硅微粉的粒型及粒度
太阳能硅片的切割其实是钢线带着碳化硅微粉在切,所以微粉的粒型及粒度是硅片表
片的光洁程度和切割能力的关键。粒型规则,切出来的硅片表明就会光洁度很好;粒
度分布均匀,就会提高硅片的切割能力。
三、砂浆的粘度
线切割机对硅片切割能力的强弱,与砂浆的粘度有着不可分割的关系。而砂浆的粘度
又取决于硅片切割液的粘度、硅片切割液与碳化硅微粉的适配性、硅片切割液与碳化
硅微粉的配比比例、砂浆密度等。只有达到机器要求标准的砂浆粘度(如
NTC 机器要