求

250 左右）才能在切割过程中，提高切割效率，提高成品率。

四、砂浆的流量

钢线在高速运动中，要完成对硅料的切割，必须由砂浆泵将砂浆从储料箱中打到喷砂

咀，再由喷砂咀喷到钢线上。砂浆的流量是否均匀、流量能否达到切割的要求，都对

切割能力和切割效率起着很关键的作用。如果流量跟不上，就会出现切割能力严重下

降，导致线痕片、断线、甚至是机器报警。

五、钢线的速度

由于线切割机可以根据用户的要求进行单向走线和双向走线，因而两种情况下对线速

的要求也不同。单向走线时，钢线始终保持一个速度运行（

MB 和 HCT 可以根据切割

情况在不同时间作出手动调整），这样相对来说比较容易控制。目前单向走线的操作

越来越少，仅限于

MB 和 HCT 机器。

双向走线时，钢线速度开始由零点沿一个方向用

2-3 秒的时间加速到规定速度，运行

一段时间后，再沿原方向慢慢降低到零点，在零点停顿

0.2 秒后再慢慢地反向加速到

规定的速度，再沿反方向慢慢降低到零点的周期切割过程。在双向切割的过程中，线

切割机的切割能力在一定范围内随着钢线的速度提高而提高，但不能低于或超过砂浆

的切割能力。如果低于砂浆的切割能力，就会出现线痕片甚至断线；反之，如果超出

砂浆的切割能力，就可能导致砂浆流量跟不上，从而出现厚薄片甚至线痕片等。

目前

MB 的平均线速可以达到 13 米/秒，NTC 达 10.5-11 米/秒。

六、钢线的张力

钢线的张力是硅片切割工艺中相当核心的要素之一。张力控制不好是产生线痕片、崩

边、甚至断线的重要原因。

1、钢线的张力过小，将会导致钢线弯曲度增大，带砂能力下降，切割能力降低。从而

出现线痕片等。

2、钢线张力过大，悬浮在钢线上的碳化硅微粉就会难以进入锯缝，切割效率降低，出

现线痕片等，并且断线的几率很大。