成敏感生产设备停机，杀伤力特别大。

下图是

SEMI 标委会组织的一个电能质量专题小组，曾经过两次在全美洲 22 站点进行电能

质量研究，共记录到

1076 个电压暂降事件，其中在绿色线（SEMI F47 标准）上方的电压

暂降的数量占总数的

93％，仅有 6 个事件为断电且都在 1 秒以内，仅有 3 个事件在 2 秒以

外。

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SEMI F47 对半导体生产设备、子系统和元器件对电压瞬间跌落的规定是：
当电压降至额定电压的

50%，持续时间为 200ms 时，半导体生产设备、子系统和元器件仍

能继续工作；
当电压降至额定电压的

70%，持续时间为 500ms 时，半导体生产设备、子系统和元器件仍

能继续工作；

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当电压降至额定电压的

80%，持续时间为 1000ms 时，半导体生产设备、子系统和元器件仍

能继续工作。

从上图可以看出，先进生产设备若满足

SEMI F47 电压暂降免疫标准将避免 90%以上的电

压暂降造成停机停产的影响。目前半导体生产设备是否满足

SEMI 47 标准是 Fab 工厂重要考

核的技术指标。

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IEC 61000-4-34 对敏感设备抗电压暂降免疫能力又有新的规定，即：
当电压降至额定电压的

40%，持续时间为 200ms 时，生产设备仍能继续工作。见下图：

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对于光伏行业来说，特别是中上游生产企业，为避免每年由于电压瞬间跌落引起生产设备
停机停产及产品报废的现象，建议在引进生产设备时应提出设备要满足

SEMI F47 电压暂

降免疫标准。对于设备供应商来说，应改进产品设计、提高设备抗电压暂降能力，使生产设
备或生产工艺满足

SEMI F47 标准。