Thermal process training

EDIT BY YUML

前言：

     扩散部按车间划分主要由扩散区域及注入区域组成，其中扩散区

域又分扩散老区和扩散新区。扩散区域按工艺分，主要有热氧化、扩散 、

LPCVD、合金、清洗、沾污测试等六大工艺。本文主要介绍热氧化、扩散

及合金工艺。

目录

第一章：扩散区域设备简介

……………………………………

第二章：氧化工艺

第三章：扩散工艺

第四章：合金工艺