2. 来料异常（ 2 ）

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1. 异常描述

片子正反两面出现圈状印痕，在
CVD 后变得尤为明显；

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2. 异常原因

分析认为系来料异常

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3. 解决办法

将不良情况反映给硅片、多晶车间
暂停产线，排查原因；

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4. 异常片处理

异常片不能下传，一般做隔离处理