2  

：

220±30μm ≤TV≤220±40μm。

3

≤

：凹痕：硅片表面凹痕之和

30μm。

4

≤

：崩边范围：崩边口不是三角形状，崩边口长度

1mm

≤

，深度

0.5mm

5：几何尺寸：
边长

125±0.52mm；对角 150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm；

边长

103±0.52mm、对角 135±0.52mm；

边长

150±0.52mm、156±0.52mm、对角 203±0.52mm、200±0.52mm。

≤

同心度：任意两个弧的弦长之差

1.5mm。

垂直度：任意两边的夹角：

90°±0.8。

三级品：
1：表面有油污但硅片颜色不发黑，有线痕和硅落现象。
2：220±40μm ≤TV≤220±60μm。
3：硅落：整张硅片边缘硅晶脱落或部分硅晶脱落。
三、不合格品
严重线痕、厚薄片：

TV＞220±60μm。

崩边片：有缺损但可以改

Φ103 的硅片。

气孔片：硅片中间有穿孔。
外形片：切方滚圆未能磨出的硅片。
倒角片（同心度）：任意两个弧的弦长之差

>1.5mm。

菱形片（垂直度）：任意两边的夹角

>90°±0.8。

凹痕片：硅片两面凹痕之和＞

30μm。

脏片：硅片表面有严重污渍且发黄发黑。
尺寸偏差片：几何尺寸超过二级品的范围。
注：以上标准针对的硅片厚度为

220μm。