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国产碳化硅实现量产,或将替代单晶硅
近日,我国自主研制的又一款 4 英寸高纯半绝缘碳化硅衬底产品
面世。据报道,晶闸管该碳化硅项目由是山东天岳研制而成的。中国
电子材料行业协会组织的专家认为,该成果国内领先,已达到国际先
进水平。此前,北京某企业与中科院合作,成功研制了从 2 英寸到 6
英寸的碳化硅衬底,完成了我国碳化硅半导体从无到有的过程。如今,
我国第二家企业也实现了碳化硅材料大规模量产,标志着我国碳化硅
材料发展逐渐走向成熟。
观察者网查询得知,山东天岳是与山东大学材料研究中心合作的
一家碳化硅生产企业。材料科技一直是制约我国军工发展的短板之
一,2015 年 1 月,观察者网曾报道,北京天科合达蓝光半导体有限
公司与中科院合作成功研发 6 英寸碳化硅衬底,并形成了一条年产 7
万片碳化硅晶片的生产线,该企业一度是中国唯一一家碳化硅半导体
材料生产企业。然而,材料科技的短板不仅是体现在技术上,更体现
在产量上。虽然相比较下技术上有所差距,但观察者网了解到,山东
天岳的新生产线将达到年产 40-50 万片 4 英寸碳化硅衬底的程度,这
样巨大的规模,可能意味着我国碳化硅产品的成本降低,在产量上获
得飞跃。
众所周知,目前大多数的半导体材料都是单晶硅,长期以来,我
国的单晶硅主要依靠进口。相比单晶硅,碳化硅材料的制作和应用则
一直很困难,当前世界上研发碳化硅器件的主要有美国、德国、瑞士、