硅单晶生产工艺流程

1.硅料熔化
  将各种原料装入到石英坩埚内，进行抽空检漏，然后在氩气
  的保护下升温将硅料熔化。
2.硅料稳定
  全熔的硅料在高温保持少许时间，然后适当的降温一段时间
  ，进行稳定。
3.缩颈/引晶
  将籽晶降到接触液面，调节使其熔接好，调节温度开始缩颈
  ，通过合理的缩颈和增加籽晶长度排除位元错，生产目标直
  径单晶。
4.等径生长
  通过控制提拉速度和熔体的温度，使无位错的小晶体长大，
  到目标直径后通过改变提拉速度的方法收肩，让无位错晶体
  等径生长。
5.收尾
  等到单晶生长到适当的时候，为了避免位错反延，适当的改
  变提拉速度和温度使直径慢慢变细而脱离液面，使单晶完整
  无位错。
6.退火
  关闭加热电源，适当的提升晶体完成退火。