（一）国内外多晶硅生产的主要工艺技术 

1，改良西门子法——闭环式三氯氢硅氢还原法 

改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢（或外购氯化氢），氯化氢

和工业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行分离

精馏提纯，提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行 CVD 反应生产高纯多

晶硅。 

国内外现有的多晶硅厂绝大部分采用此法生产电子级与太阳能

级多晶硅。 

2，硅烷法——硅烷热分解法 

硅烷（SiH

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）是以四氯化硅氢化法、硅合金分解法、氢化物还原

法、硅的直接氢化法等方法制取。然后将制得的硅烷气提纯后在热分

解炉生产纯度较高的棒状多晶硅。以前只有日本小松掌握此技术，由

于发生过严重的爆炸事故后，没有继续扩大生产。但美国Asimi和SGS

公司仍采用硅烷气热分解生产纯度较高的电子级多晶硅产品。 

3，流化床法 

以四氯化硅、氢气、氯化氢和工业硅为原料在流化床内（沸腾床）

高温高压下生成三氯氢硅，将三氯氢硅再进一步歧化加氢反应生成二

氯二氢硅，继而生成硅烷气。 

制得的硅烷气通入加有小颗粒硅粉的流化床反应炉内进行连续

热分解反应，生成粒状多晶硅产品。因为在流化床反应炉内参与反应

的硅表面积大，生产效率高，电耗低与成本低，适用于大规模生产太

阳能级多晶硅。唯一的缺点是安全性差，危险性大。其次是产品纯度