世界上主要的几种多晶硅生产工艺

1，改良西门子法——闭环式三氯氢硅氢还原法 
改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢（或外购氯化氢），氯化氢和工业硅粉在一定的温度
下合成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯，提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进
行

CVD 反应生产高纯多晶硅。 

国内外现有的多晶硅厂绝大部分采用此法生产电子级与太阳能级多晶硅。

 

2，硅烷法——硅烷热分解法 
硅烷（

SiH4）是以四氯化硅氢化法、硅合金分解法、氢化物还原法、硅的直接氢化法等方法

制取。然后将制得的硅烷气提纯后在热分解炉生产纯度较高的棒状多晶硅。以前只有日本小
松掌握此技术，由于发生过严重的爆炸事故后，没有继续扩大生产。但美国

Asimi 和 SGS

公司仍采用硅烷气热分解生产纯度较高的电子级多晶硅产品。

 

3，流化床法 
以四氯化硅、氢气、氯化氢和工业硅为原料在流化床内（沸腾床）高温高压下生成三氯氢硅，
将三氯氢硅再进一步歧化加氢反应生成二氯二氢硅，继而生成硅烷气。

 

制得的硅烷气通入加有小颗粒硅粉的流化床反应炉内进行连续热分解反应，生成粒状多晶
硅产品。因为在流化床反应炉内参与反应的硅表面积大，生产效率高，电耗低与成本低，适
用于大规模生产太阳能级多晶硅。唯一的缺点是安全性差，危险性大。其次是产品纯度不高，
但基本能满足太阳能电池生产的使用。

 

此法是美国联合碳化合物公司早年研究的工艺技术。目前世界上只有美国

MEMC 公司采用

此法生产粒状多晶硅。此法比较适合生产价廉的太阳能级多晶硅。

 

4，太阳能级多晶硅新工艺技术 
除了上述改良西门子法、硅烷热分解法、流化床反应炉法三种方法生产电子级与太阳能级多
晶硅以外，还涌现出几种专门生产太阳能级多晶硅新工艺技术。

 

1）冶金法生产太阳能级多晶硅 
据资料报导

[1]日本川崎制铁公司采用冶金法制得的多晶硅已在世界上最大的太阳能电池厂

（

SHARP 公司）应用，现已形成 800 吨/年的生产能力，全量供给 SHARP 公司。 

主要工艺是：选择纯度较好的工业硅（即冶金硅）进行水平区熔单向凝固成硅锭，去除硅
锭中金属杂质聚集的部分和外表部分后，进行粗粉碎与清洗，在等离子体融解炉中去除硼
杂质，再进行第二次水平区熔单向凝固成硅锭，去除第二次区熔硅锭中金属杂质聚集的部
分和外表部分，经粗粉碎与清洗后，在电子束融解炉中去除磷和碳杂质，直接生成太阳能
级多晶硅。

 

2）气液沉积法生产粒状太阳能级多晶硅 
据资料报导

[1]以日本 Tokuyama 公司为代表，目前 10 吨试验线在运行，200 吨半商业化规

模生产线在

2005-2006 年间投入试运行。 

主要工艺是：将反应器中的石墨管的温度升高到

1500

℃，流体三氯氢硅和氢气从石墨管的

上部注入，在石墨管内壁

1500

℃高温处反应生成液体状硅，然后滴入底部，温度回升变成

固体粒状的太阳能级多晶硅。