基于光电显示用透明导电膜及玻璃（

ITO）的原理

ITO 导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用磁控溅射的方法镀上一层

氧化铟锡（俗称

ITO）膜加工制作成的。液晶显示器专用 ITO 导电玻璃，还会在镀 ITO 层之

前，镀上一层二氧化硅阻挡层，以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。高档液晶显
示器专用

ITO 玻璃在溅镀 ITO 层之前基片玻璃还要进行抛光处理，以得到更均匀的显示控

制。液晶显示器专用

ITO 玻璃基板一般属超浮法玻璃，所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。因

此，最终的液晶显示器都会沿浮法方向，规律的出现波纹不平整情况。

　　在溅镀

ITO 层时，不同的靶材与玻璃间，在不同的温度和运动方式下，所得到的 ITO

层会有不同的特性。一些厂家的玻璃

ITO 层常常表面光洁度要低一些，更容易出现“麻点”现

象；有些厂家的玻璃

ITO 层会出现高蚀间隔带，ITO 层在蚀刻时，更容易出现直线放射型

的缺划或电阻偏高带；另一些厂家的玻璃

ITO 层则会出现微晶沟缝。

　　

ITO 导电层的特性：

　　

ITO 膜层的主要成份是氧化铟锡。在厚度只有几千埃的情况下，氧化铟透过率高，氧化

锡导电能力强，液晶显示器所用的

ITO 玻璃正是一种具有高透过率的导电玻璃。由于 ITO

具有很强的吸水性，所以会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质，俗称

“霉

变

”，因此在存放时要防潮。

　　

ITO 层在活性正价离子溶液中易产生离子置换反应，形成其它导电和透过率不佳的反

应物质，所以在加工过程中，尽量避免长时间放在活性正价离子溶液中。

　　

ITO 层由很多细小的晶粒组成，晶粒在加温过程中会裂变变小，从而增加更多晶界，

电子突破晶界时会损耗一定的能量，所以

ITO 导电玻璃的 ITO 层在 600 度以下会随着温度

的升高，电阻也增大。

　　

ITO 导电玻璃的分类：

　　

ITO 导电玻璃按电阻分，分为高电阻玻璃（电阻在 150~500 欧姆）、普通玻璃（电阻在

60~150 欧姆）、低电阻玻璃（电阻小于 60 欧姆）。高电阻玻璃一般用于静电防护、触控屏幕
制作用；普通玻璃一般用于

TN 类液晶显示器和电子抗干扰；低电阻玻璃一般用于 STN 液

晶显示器和透明线路板。

　 　

ITO 导 电 玻 璃 按 尺 寸 分 ， 有 14”x14” 、 14”x16” 、 20”x24” 等 规 格 ； 按 厚 度 分 ， 有

2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm 等规格，厚度在 0.5mm 以下的主要用于 STN
液晶显示器产品。