浆料动态更新对硅片切割影响

一、实验目的

　　

1、分阶段添加浆料，提高砂浆切削力

　　

2、降低硅片表面 TTV 值

　　

3、通过动态更新浆料，最终减少浆料用量

　　二、实验方法

　　选用

HCT 线锯使用现用工艺满载切割多晶硅块。切割前添加 400L 新浆料进行切割，切

割到

60%在不停机状态下再添加 100L 新浆料，直至切割结束。

　　三、实验过程

　　硅片四车间

3 月 15 日——4 月 11 日在机床 Y71 和 Y72 做砂浆分两步添加实验，现对

此期间切割状况予以实验反馈，统计数据如下：

　

　　在此期间四车间的平均合格率为

96.24%，A 级品率为 90.22%。

　　其中，

　　

Y71—390 由于导轮寿命将终出现大量切斜，导致合格率仅为 93.61%；Y72—377 由于

收线轴断线从而出现大量翘曲，合格率低至为

82.41%。Y72-412 出现 200mm 切斜，合格率