单晶硅棒检测指标

表面质量

 appearance 

 

圆棒

 

 

*孔洞，裂纹，孪晶，崩边Needle hole, crack, twin 

 无None 

 

*表面机械损伤层Mechanical damage 

 棱线40mm内不允许，其他区域深度≤3mm

不超过

2处 

No dent located at node ±40mm range, 

other ≤3mm ,depth damage no more than 2. 

 

硅棒尺寸

 dimension 

 

*尺寸 Model 

 6" 
 6.5" 
 8" 

 

*圆棒直径（Diameter) 

 153~157mm 
 169~171mm 
 203~206mm 156±0.4mm 

 

*方棒径向截面 Ingot radial section 

 直边距 Flat width 
 125±0.5mm 
 125±0.4mm 

 对角线长

 Diagonal length 

 150±0.5mm 
 156±0.5mm 
 200±0.5mm