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积扫描区和特殊光学过滤可在测量设备全行程中产生稳定质量的扫描信号,这正是下列几
点的前提条件:信号周期内位置误差较小;高光栅运行速度;使用直接驱动时,控制品质
高。
在示波器 XY 显示模式下可明显地看到单场扫描的这个优点(图 2):单场扫描光栅尺的
输出信号具有更好的圆度和更小的信号噪声,这意味着更高的定位精度和更佳的控制品质。
对直线电机而言,配备了单场扫描光栅尺后,速度控制可以更为平滑。