（2）位置精度的检测及其自动补偿可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精
度等。利用雷尼绍 ML10 激光干涉仪不仅能自动测量机器的误差，而且还能通过 RS232 接
口自动对其线性误差进行补偿，比通常的补偿方法节省了大量时间，并且避免了手工计
算和手动数控键入而引起的操作者误差，同时可最大限度地选用被测轴上的补偿点数，
使机床达到最佳精度，另外操作者无需具有机床参数及补偿方法的知识。

目 前 ， 可 供 选 择 的 补 偿 软 件 有 Fanuc,Siemens   800 系 列 ，
UNM，Mazak,Mitsubishi,Cincinnati Acramatic,Heidenhain, Bosch, Allen-Bradley。

（3）数控转台分度精度的检测及其自动补偿现在，利用 ML10 激光干涉仪加上 RX10 转
台基准还能进行回转轴的自动测量。它可对任意角度位置，以任意角度间隔进行全自动测
量，其精度达±1。新的国际标准已推荐使用该项新技术。它比传统用自准直仪和多面体的
方法不仅节约了大量的测量时间，而且还得到完整的回转轴精度曲线，知晓其精度的每
一细节，并给出按相关标准处理的统计结果。

（4）双轴定位精度的检测及其自动补偿雷尼绍双激光干涉仪系统可同步测量大型龙门移
动式数控机床，由双伺服驱动某一轴向运动的定位精度，而且还能通过 RS232 接口，自
动对两轴线性误差分别进行补偿。

（5）数控机床动态性能检测利用 RENISHAW 动态特性测量与评估软件，可用激光干涉
仪进行机床振动测试与分析（FFT），滚珠丝杠的动态特性分析，伺服驱动系统的响应
特性分析，导轨的动态特性（低速爬行）分析等。
2.2QC10 球杆仪

在数控机床精度检测中，QC10 球杆仪和 ML10 激光干涉仪是两种互为相辅的仪器，缺一
不可。ML10 激光干涉仪着重检测机床的各项精度；而 QC10 球杆仪主要用来确定机床失
去精度的原因及诊断机床的故障。但与 ML10 激光干涉仪相比，QC10 球杆仪目前还没有
被广大用户所了解。为此以下将着重介绍 QC10 球杆仪原理、功能及在检测中的应用。

2.2.1 什么是球杆仪

雷尼绍 QC10 球杆仪是用于数控机床两轴联动精度快速检测与机床故障分析的一种工具。
它由一安装在可伸缩的纤维杆内的高精度位移传感器构成，该传感器包括两个线圈和一
个可移动的内杆，其工作原理类同于使用 LVDT 技术的位移传感器。当其长度变化时，内
杆移入线圈，感应系数发生变化，检测电路将电感信号转变成分辨率为 0.1μm 位移信号，
通过接口传入 PC 机。其精度经激光干涉仪检测达±0.5μm(在 20 )

℃

。

当机床按预定程序以球杆仪长度为半径走圆时，QC10 传感器检测到机床运动半径方向的
变化，雷尼绍 QC10 分析软件可迅速将机床的直线度、垂直度、重复性、反向间隙、各轴的
比例如否匹配及伺服性能等从半径的变化中分离出来。

2.2.2 主要功能