集成电路（DRAM）集成

度

16K

64K

256K

1M

4M

16M

相邻线距（μm）

4

2.2

1.8

1.2

0.8

0.5

微粒

直径（μm）

0.4

0.2

0.2

0.1

0.08

0.05

个数

（PCS/ml）

＜100

＜100

＜20

＜20

＜10

＜10

细菌（CFU/100ML）

＜100

＜50

＜10

＜5

＜1

＜0.5

电阻率（μs/cm，25℃）

＞16

＞17

＞17.5

＞18

＞18

＞18.2

TOC(ppb)

＜1000

＜500

＜100

＜50

＜30

＜10

DO(ppb)

＜500

＜200

＜100

＜80

＜50

＜10

Na+(ppb)

＜1

＜1

＜0.8

＜0.5

＜0.1

＜0.1

 
　　二、膜技术在纯水制造中的应用
　　纯水制造中应用的膜技术主要有电渗析（ED）、反渗透（RO）、纳滤（NF）、超滤
（UF）、微滤（MF），其工作原理、作用等见表 3。

表 3  纯水制造中常用的膜技术

 
 

膜组件名称

ED

RO

NF

UF

MF

微孔孔径

 

5-50 埃

15-85 埃

50-1000 埃

（1μm）

0.03-100μm

工作原理

离子选
择透过

性

1.优先吸附-毛

细管理论

2.氢链理论
3.扩散理论

同左

滤膜筛滤作用

同左

作用

去除无
机盐离

子

    去除无机

盐离子，以及
有机物、微生

物、胶体、热源、

病毒等

    去除二价、

三价离子，

M＞100 的有

机物，以及

微生物、胶体、
热源、病毒等

    去除悬浊物、

胶体以及 M＞

6000 的有机物

去除悬浊物

组件形式

膜堆式

    大多为卷

式，少量为中

空纤维

同左

    大多为中空

纤维，少量为

卷式

    摺迭滤筒

式

工作压力

（Mpa）

0.03-0.3

1-4

0.5-1.5

0.1-0.5

0.05-0.5

水回收率

（%）

50-80

50-75

50-85

90-95

100

使用寿命

（年）

3-8

3-5

3-5

3-5

3-6 个月

水站位置

除盐工

序

除盐工序

1.除盐工序

2.RO 前的软

化

    大多为纯水

站终端精处理，

少数为 RO 前

的预处理

1.RO、NF、UF

前的保安过滤

(3-10μm)

2.离子交换后

滤除树脂碎片

(1μm)

3.UV 后滤除