3.与主要生产工艺的比较

　　改良西门子法在多晶硅生产领域已经应用了几十年，至今它的主导地位仍然牢不可破。
通过

CVD 技术的改良、中间气体生产技术的进步和规模化效益的凸显，二次创新的改良西

门子法已经成为目前技术最成熟、配套最完善、综合成本最低的多晶硅生产工艺。

　　从

2008 年开始大举进入多晶硅生产领域、目前产能分列全球前两位的中国$保利协鑫能

源

(03800)$和韩国 OCI 是改良西门子法的典型代表。利用成熟的技术、完善的配套和自身产

能规模的迅速扩张，保利协鑫和

OCI 在控制多晶硅生产成本方面很快做到了世界领先水平，

也给原有的世界多晶硅生产大厂

(所谓的多晶硅七巨头)带来很大压力。

　　最近公布的

2011 年第四季度财报显示，截至 2011 年底，保利协鑫的多晶硅生产成本

已经降至

18.6 美元/公斤(包括设备折旧成本，大约占 14%)，综合电耗可低至 65 度/公斤。

　　

(1)**法

　　要聊

**法，就不得不聊到挪威的 REC 公司(RenewableEnergyCorporation)。REC 是全球

最重要的高纯

**供应商，一度占据全球电子级**市场 80%的份额，对采用**法生产多晶硅

有很强的动力。

　　和保利协鑫专注于多晶硅生产、产业链条相对单一不同，传统多晶硅大厂多为电子材料
综合供应商，如德国

Wacker 的产品涉及多晶硅、有机硅、聚醋酸乙烯、白炭黑等，而挪威

REC、美国 MEMC($休斯电子材料(WFR)$)则是全球电子级**的重要供应商。

　　

**法制造多晶硅也是一种化学方法，核心工艺是利用高纯度**在反应器中热分解为高

纯度硅。

**法可以分为两类，较早出现的是**西门子法(SilaneSiemens)，即用**(SiH4)而非

TCS 作为 CVD 还原炉的原料，通过**(包括副产品 SiH2Cl2，下文简称 DCS)的热分解和气
相沉积来生产高纯度多晶硅棒料，

REC 旗下的 RECSilicon 公司(位于美国，包括原 Asimi 和

SGS)采用过此方法生产电子级多晶硅;不过，REC 近期的多晶硅扩建项目采用了另一种**
法

——**流化床法(SilaneFBR)，将**(UCC 法制成的**可以包含副产品 DCS)通入加有小颗

粒硅粉的流化床

(FBR)反应炉内进行连续热分解反应，生成粒状多晶硅。