②快速加热烧结
　　根据工艺要求，需要此腔室的灯管能提供很高（高到

1000

℃）的温度，并且能在高温

下工作。一般用石英玻璃管加热器。此种设备用气流把快速加热箱分成

4 独立的加热系统，

以保证每个腔室温度的独立性，可形成一个一个的温度阶梯，从而使最后一个温区的温度
在很短时间达到一个很高的温度。这样设计还可以是每个隔离区域横向位置温度的不均匀性
在一个很小的范围内。在此腔室内每个抽风口都特别设计了一个带加热装置的文氏阀，能保
证腔室内产生的废气流很快离开腔室，避免在烧文氏阀结温区废气对硅片的污染，还能让
产生的废气流不在管道口处冷凝。对于温度的测试，

2 个热偶被安装在加热区域。一个用于

温度控制，一个用于超温报警。最后一个温区中安装了

2 个热偶，于皮带正上方 20mm 处，

他们反映了形成欧姆接触的共晶温度的真实值，他们的值可以在加热菜单看到，可以直接
了解内部的实际温度。为了能让温度急剧下降，在高温区出口处的侧壁、上下部分都装有水
冷系统。为了保证大部分热量都辐射到腔室内，在全部的加热盒子周围都覆盖上保温层，在
外层还覆盖有双层的铝反射板，有效延长了灯管的使用寿命。

　　③冷却
　　冷却盒子是一个可循环的盒子，为了冷却电池片和皮带，运送冷却水的管道安装在皮
带的上部和下部。冷却风扇分别安装在循环水管道的上方和下方。风速可以调整，上部的风
扇将周围的空气通过冷却管道送到硅片和皮带上，下面的风扇吸走通过皮带周围和硅片底
部的空气。