ITO 导电玻璃按平整度分，分为抛光玻璃和普通玻璃。

　　透明导电氧化物薄膜主要包括Ｉｎ、Ｚｎ、Ｓｂ和Ｃｄ的氧化物及其复合多元氧化物薄
膜材料，具有禁带宽、可见光谱区光透射率高和电阻率低等特性。透明导电薄膜以掺锡氧化
铟（Ｉｎｄｉｕｍ

 ＴｉｎＯｘｉｄｅ，ＩＴＯ）为代表，广泛地应用于平板显示、太阳能

电池、特殊功能窗口涂层及其他光电器件领域。平板显示器市场广阔，被认为具有比半导体
产业更高的增长率，特别是液晶显示器（ＬＣＤ）具有体积小、重量轻、能耗低、无辐射、无
闪烁、抗电磁干扰等特点，广泛应用于笔记本电脑、台式电脑、各类监视器、数字彩电和手机
等电子产品，以全球显示器市场来看，ＬＣＤ产值远高于其他显示器。透明导电薄膜是简单
液晶显示器的三大主要材料之一，随着ＬＣＤ产业的发展，市场对ＩＴＯ透明导电膜的需
求也随之急剧增大。

　　ＩＴＯ薄膜的制备方法多样，研究较多的制备方法为磁控溅射法，另外还有真空蒸发
法、化学气相沉积法、喷涂法、溶胶－凝胶法等方法。其中，溶胶－凝胶法的优点是生产设备
简单、工艺过程温度低，易实现制备多组元且掺杂均匀的材料。

　　采用溶胶－凝胶法制备ＩＴＯ薄膜多以铟、锡的有机醇盐为前驱物。以铟、锡的无机盐为
前驱物，采用溶胶－凝胶法制备的ＩＴＯ薄膜，比以有机醇盐为前驱物的溶胶－凝胶法制
备成本低，该方法制备ＩＴＯ薄膜具有生产设备简单、成本低的优势。本文以氯化铟和氯化
锡为前驱物，采用溶胶－凝胶法制备ＩＴＯ薄膜，探索以铟、锡的无机盐为前驱物制备ＩＴ
Ｏ薄膜的方法。

　　液晶显示器现已成为技术密集，资金密集型高新技术产业，透明导电玻璃则是

LCD 的

三大主要材料之一。液晶显示器之所以能显示特定的图形，就是利用导电玻璃上的透明导电
电膜，经蚀刻制成特定形状的电极，上下导电玻璃制成液晶盒后，在这些电极上加适当电
压信号，使具有偶极矩的液晶分子在电场作用下特定的方面排列，仅而显示出与电极波长
相对应的图形。

　　在氧化物导电膜中，以掺

Sn 的 In2O3（ITO）膜的透过率最高和导电性能最好，而且

容易在酸液中蚀刻出微细的图形。其透过率已达

90%以上，ITO 中其透过率和阻值分别由

In2O3 与 Sn2O3 之比例来控制，通常 SnO2：In2O3=1：9。

　　

ITO 是一种 N 型氧化物半导体-氧化铟锡，ITO 薄膜即铟锡氧化物半导体透明导电膜，

通常有两回事个主要的性能指针：电阻率和光透过率。

　　目前

ITO 膜层之电阻率一般在 5*10-4 左右，最好可达 5*10-5，已接近金属的电阻率，

在实际应用时，常以方块电阻来表征

ITO 的导电性能，其透过率则可达 90%以上，ITO 膜

之透过率和阻值分别由

In2O3 与 Sn2O3 之比例控制，增加氧化锢比例则可提高 ITO 之透过

率，通常

Sn2O3： In2O3=1：9，因为氧化锡之厚度超过 200？时，通常透明度已不够好---

虽然导电性能很好。

　　如用是电流平行流经

ITO 脱层的情形，其中 d 为膜厚，I 为电流，L1 为在电流方向上

膜厚层长度，

L2 为在垂直于电流方向上的膜层长主，当电流流过方形导电膜时，该层电阻

R=PL1/dL2 式中 P 为导电膜 之电阻率，对于给定膜层，P 和 d 可视为定值，P/d，当 L1=L2