其中，不同层的折射率

r1

由单个波长点反射率、入射光子通量、硅材料的内部量子效率，可计算出在整个光谱范围内
的加权平均反射率为

　 　 式 中 ，

F(λ)

为 人 射 光 子 通 量 ，
公式为

　　

式中，

V 为该波长光的相对视敏度；P 为其辐射功率．Q(λ)为硅的内部量子效率，由

图

2 得到；R(λ)为减反射膜在对应波长点的反射率，由式(1)、式(2)得到；λ1、λ2 为光谱波长

上下限，

λ1=350 nm、λ2=1 120 nm．加权平均透射率为 Tw=1-Rw

．

　　加权平均反射率可
给出整个波长范围内平
均反射率的具体值，由
加权平均反射率值可以
很准确地判断出膜系在
硅的光谱响应范围内总
的减反射效果．

　　

2 减反射膜设计分析

　　在以下的讨论中取中心波长为

600nm，变化曲线的波长单位为 nrn．

　　

2．1 单层透明导电膜

　　在单层透明导电膜的情况下，一般选择

ITO(n=2.0)和 SnO2(n =2.09)作为透明导电电极，

根据四分之一波长原理，其厚度分别为

75nm 和 72nm．

2．2 透明导电膜+单层减反射膜
　

　

一

般

情

况

下

减

反

射

膜

材

料

为

MgF2(n=1．35)、Si02(n=1．46)、Al2O3(n=1．9)、Ti02(n=2．3)，透明导电膜的材料为 ITO(n 
=2．0)和 SnO7(n=2．09)．

　 　 为 了 说 明 问 题 ， 首 先 选 择

2 种 组 合 ， 即 MgF2 ／ ITO(d=111  nm、 75  nIn) ， Ti02 ／

ITO(d=65nm、75nm)，它们的反射率随波长的变化曲线如图 4．从图 4 中可以看出，在光谱
响应范围内，透明导电膜与低折射率减反射膜的组合比低折射率透明导电膜加高折射率减
反射膜的效果好．上面两种组合的加权平均反射率分别为

3.72％ 和 30.53％，由此可见，

MgF2／ITO 明显优于 TiO2／ITO．