在

2 段和 3 段（主）泵的配合作用下，1 段泵提供 78%峰值容积效率，在大约 0.67mbar 下，

典型抽吸速率为

28300m3/h。最近在 1 段采用了排气量 40000m3/h 的往复式泵，这可进一步

提高净模块抽吸速率，每模块在

0.67mbar 下，流率达到约 30800m3/h。

　　模块系统中的

2 段泵名义排气量为 8640m3/h，可提供中等真空度下的高压缩率。干式

运行的

“主”真空泵是最新一代的 IDX 大型、双头可调式螺杆泵，这种泵已成为干式真空脱

气的国际标准。该泵在

2 段泵之后提供相对平缓的“补偿”抽吸速率，名义排气量为 1000m3/h

或

1300m3/h。4 干式真空泵系统的运行

　　操作者根据需要，通常可以控制系统，改变所有的抽吸速率，这通过将泵控制系统直
接集成到车间控制系统中，采用电子变频驱动控制模块中的泵马达来实现的。
　　电子驱动的使用也提高了抽吸效率，实现能耗的最优使用，使泵在最有效的方式下工
作。模块化真空系统配置该驱动，实现高度可再现的运行效果。
5 降低成本
　　模块化三段机械式真空泵系统与蒸汽喷射真空系统相比，主要优点之一是实现运行成
本的节约。
　　在许多老式

VD 厂，驱动蒸汽喷射抽吸系统的蒸汽成本的增加已成为一个关键因素。燃

料成本不断攀升，燃料的稳定供应成为世界一些地区的热点问题。在一座典型的

VD 厂，蒸

汽消耗的成本可能占总的抽吸系统运行成本的

50%以上。此外，还要考虑给水、冷凝水和污

水处理成本。而运行一座等效的机械式真空泵系统所需的电力费用仅占蒸汽发生费用的

5%。

　　模块化干式机械抽吸系统的初始投资成本可能超过购买新的蒸汽锅炉和喷射装置所需
费用，但如污水处理厂等现有设备需要升级改造才能处理喷射器产生的污水，则蒸汽喷射
真空系统所需的总成本就可能与干式抽吸系统相当。在这种情况下，干式抽吸系统提供的运
行成本的节约就能很快实现投资成本的回收，使之成为切实可行的方案。