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GB/T ××××-200×
2
表1
项目
要求
电阻率,Ω·cm
1.0∽3.0
导电类型
P 型
少数载流子寿命(裸测最小值)
,μs
≥2
氧浓度,atoms/cm
3
1×10
18
碳浓度,atoms/cm
3
≤5×10
17
基体金属杂质,ppmw
Fe、Cr、Ni、Cu、Zn
TMI(
Total metal impurities)总金属杂质含量:≤1
硼浓度
≤0.30
磷浓度
≤0.40
5.3
结构及表面质量
5.3.1 太阳能级多晶硅块中不允许出现氧化夹层;
5.3.2 太阳能级多晶硅块 IR 检测结果不可出现阴影、杂质、裂纹、微晶;
5.3.3 太阳能级多晶硅块表面粗糙度 Ra≤0.2μm;
5.3.4 太阳能级多晶硅块几何尺寸偏差不超过±0.5mm。
6
试验方法
6.1
太阳能级多晶硅块的外观检验用目测检查;
6.2
太阳能级多晶硅块电阻率检验按 GB/T 1552 或 GB/T 6616 进行;
6.3
太阳能级多晶硅块导电类型检验按 GB/T 1550 进行;
6.4
太阳能级多晶硅块少数载流子寿命检验按 GB/T 1553 进行;
6.5
太阳能级多晶硅块的氧含量检验按 GB/T 1557 进行;
6.6
太阳能级多晶硅块的碳含量检验按 GB/T 1558 进行;
6.7
太阳能级多晶硅块基体金属杂质按照 SEMI MF1389-0704 测试;
6.8
太阳能级多晶硅块断面夹层检验按 GB/T 4061 测试;
6.9
太阳能级多晶硅块 IR 检测方法:将太阳能级多晶硅块至于 850μm 红外光源下,通过摄像机观察
成像效果。
6.10 太阳能级多晶硅块表面粗糙度用表面粗糙度测试仪测得,测试点在所试表面随机获得。测试要求
测量硅块的相邻两侧面,两端面不用测量。
6.11 太阳能级多晶硅块几何尺寸采用通用量具测得,但最小精度应不小于0.02mm
7
检验规则
7.1
检验分类
检验分:出厂检验和型式试验。
7.2
出厂检验
7.2.1
每批产品应经供方技术(质量)监督部门进行检验,保证产品质量符合本标准的规定,并附有
产品质量合格的技术文件,方可出厂;
7.2.2
出厂检验项目包括 4.1、5.1、5.2 中的电阻率、导电类型及少数载流子寿命和 5.3.2、5.3.3、
5.3.4 项。
7.3
判定规则
7.3.1
每批产品的检验项目均采用全数检验,或由供需双方协商解决。
7.3.2
合格质量水平
(AQL)规定为 Ac=0,Re=1,或由供需双方协商解决。