图 2 单场成像式光电扫描法原理覆盖光栅标尺全宽的大尺寸扫描面以及交替重复出现的条状扫描区使得采用单场扫描原理的测量设备对污染的干扰特别不敏感,这可通过抗污染试验来证实:即便在有大面积污染干扰时,测量设备仍任能提供高质量的测量信号(图 3),位置误差远低于测量设备标定精度等级所对应的误差值。
图 3 四场与单场扫描抗污能力比较