细菌死体(0.2

 

或 0.45μm)

4.纯水站终端

过滤(0.03-

0.45μm)

　与传统的水处理技术相比，膜技术具有工艺简单、操作方便、易于自动控制、能耗小、无
污染、去除杂质效率高、运行成本低等优点，特别是几种膜技术的配合使用，再辅之以其
他水处理工艺，如石英砂过滤、活性炭吸附、脱气、离子交换、UV 杀菌等，为去除水中的各
种杂质，满足日益发展的电子工业对高纯水的需要，提供了有效而可靠的手段，而且也
只有应用了多种膜技术，才能生产出合格、稳定的高纯水，才能生产出大规模、超大规模、
甚大规模集成电路（LSI、VLSI、ULSI），从而使计算机、雷达、通讯、自动控制等现代电子
工业的发展和应用得以实现。值得一提的是：当原水的含盐量大于 400mg/L 时，纯水制造
的除盐工序采用 RO-离子交换工艺后，比早先单用离子交换可节约酸、碱 90%左右，使离
子交换柱的周期产水量提高 10 倍左右[7]，事实证明，可以降低纯水制造的运行费用和制
水成本，可以减少工人的劳动强度，可以减少对环境的污染，并可使纯水水质得到提高
并长期稳定。据统计，在我国电子工业引进的纯水制造系统中，有 RO 的约占系统总数的
90%，有 UF 的约占 20%，有 MF 的几乎为 100%[8]，而 ED 在我国国产的纯水系统特别是
早期投产的纯水系统，以及为数众多的对纯水水质要求不高的一般电子元器件（如电阻、
电容、黑白显像管、电子管等）制造厂的纯水系统中占有相当的比例。
　　三、微电子工厂纯水站使用膜技术实况
　　现以某微电子工厂中的某一纯水站使用膜技术的实况，说明膜技术在电子工业纯水
制造中的应用。其纯水制造系统工艺流程见图 1。
　　1.前级 UF
　　前级 UF 是用于去除水中的悬浊物、胶体及有机物，降低水的 SDI 值，确保 RO 的安
全运行。前级 UF 有 5 组，每组 45 根组件，共 225 根组件，进水 280m3/h，透过水 250 
m3/h，浓缩水排放，回收率约 90%。UF 组件为美国 Romicon 公司生产，型号 HF-BZ-20-
PM80，组件直径 5in，长 43in，内压式中空纤维膜，纤维直径 20mil（0.51mm），共有
2940 根纤维，膜面积 132ft2，膜材料为 PS（聚砜），截留分子量 8 万。UF 前采用 5μm 保
安过滤器。
　　2.一级 RO
　　水中加入还原剂 Na2SO3（加药量为水中余氯值的 1.8 倍）以防止余氯氧化腐蚀 RO
膜，加入防垢剂（NaPO3）6（加药量为 5ppm）以防止 CaCO3、CaSO4 等在 RO 膜上结垢，
再经 5μm 保安过滤器后由高压泵打进一级 RO。一级 RO 有 4 组，均为二段。其中三组为每
组 8 根膜容器，呈（5+3）排列，第 4 组为 11 根膜容器，呈（8+3）排列，膜容器由
FRP（玻璃钢）制成，每根内装 6 个 RO 元件，总共为 210 个 RO 元件，进水 250m3/h，
透过水 188m3/h，浓缩水排放，回收率为 75%，脱盐率＞90%（初始脱盐率＞99%），操
作压力 1.55Mpa。RO 元件为美国 HYDRANAUTICS(海德能)公司生产，型号 CPA3。元件直
径 8in，长 40in，卷式膜，膜面积 400ft2，膜材料为芳香聚酰胺复合膜，元件脱盐率
≥99.5%。
　　3.二级 RO
　　一级 RO 水箱出水中一部分进入 A 系统，先加 NaOH（CP 级）调节 pH 为 8.2-8.6，使
水中 CO2 生成 HCO3-，被二级 RO 除去，以减轻混床离子交换的负担，采用二级 RO 可
以使混床再生周期延长一倍，减少再生酸碱耗量，并可进一步去除 TOC 和胶体物质。二