第一节 超精密加工技术

 

     超精密加工是指加工精度和表面质量达到极高程度
的精密加工工艺。随着加工技术的发展，超精密加工的

技术指标也在不断变化。

一般加工：

精度

10μm 左右， Ra0.3 ～ 0.8μm ；

精 密 加 工 ：

精 度

10—0.1μm 左 右 ， Ra0.3—

0.03μm ；

超 精 密 加 工 ：

精 度

0.1—0.01μm 左 右 ， Ra0.03—

0.05μm ；

纳 米 加 工 ：

精 度 高 于

0.001μm ， Ra 小 于

0.005μm 

 

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