电阻数据曲线。从中可以看到

,该结果比较稳定,重复性好。同时,随着使用次数的增加,方块电

阻有略为减少的趋势

,表明杂质量有所增加。这是因为,淀积炉管内壁及挡片上已沾附了大量

的磷原子而成为一个扩散源

,另一方面,随着液态源容器内液面的降低,气态三氯氧磷的体积

相对增大

,能被氮气所带走的数量将增多。因此,为保持结果的一致性,工作时还应定期清洗炉

管及配套件。同时应采用具有恒定液面设计的三氯氧磷源瓶

,并配用性能较好的温度控制器。

　　

3 结束语

　　综上所述

,要求方块电阻为 6~8(Ω/□)的磷吸杂工艺的条件是将图 1 中的温度(T)和时间

(t1、t2)分别确定为 1045

℃、7 分钟和 7 分钟。同时在生产中还应注意以下几点:

　　

(1)定期校准扩散炉温区;

　　

(2)每次作业时认真检查时间、气体压力及流量、源温、进出舟速度等是否正常;

　　

(3)将试片在石英舟以及石英舟在扩散炉的位置固定;

　　

(4)定期清洗石英管及配套件、挡片等,当作业次数较频繁时应缩短清洗周期;

　　

(5)经常检查 POCl3 源的剩余量并及时补充和更换。