在不进行实际增长实验的情况下评估前驱物自身的质量，需要依据参照值，

对物理杂质的水平进行仔细对比。对于

O 类物质，研究发现，产品质子核磁共

振（

NMR）中的醇化物峰值可直接用于标示性能方面的提高。图 4 显示了三甲

基铝（

Me3Al）样品中探测到的 O 类物质水平；图 5 突出显示了使用这些样品

时，沉积的镓铝砷（

AlGaAs）的属性。两组数据之间的直接对比清楚地表明，

源污染水平低于

1ppm 对获得最高质量的成品膜是至关重要的。