比较图

3 与图 4 可

知，在两层膜的情况下，
在很大的波长范围内都
有较小的反射率，而单
层膜只在单个波长点附
近有较小的反射率．

　　再看另外两种情况，
Si02

／

ITO(d=103nm、75nm)和
MgF2／ITO(d=111nm、75nm)，反射率随波长的变化曲线如图 5 所示，在 300～450nm 和
900～1500nm 范围内，Si02／ITO 优于 MgF2／ITO；而在 450~900nm 范围内，MgF2／ITO
明显优于

SiO2／ITO．经过计算，siO2／ITO 的加权平均反射率为 5.57％，而 MgF2／ITO

的加权平均反射率为

3.72％，可见在相同情况下减反射膜材料的折射率低一些效果会更好．

　　综上得到如下结论，即设计两层膜的时候，选择材料应遵循两层膜的位置关系最好是
上面一层的折射率低一些而下面一层的高一些的原则．

2．3 透明导电膜+双
层减反射膜
　　

在此设计了两种

三 层 膜 系 ，

MgF2 ／

SiO2／ITO 和 Sio2／
MgF2 ／ ITO ， 透 明
导电膜始终不变，只
是交换两种减反射膜
的

位

置

，

MgF2 、Si02、ITO 的
厚

度 分

别 为

111、103、75 nrn．运行后的图形如图 6，计算其加权平均反射率分别为 7.26％和 11．63％，
可见

MgF2／SiO2／ITO 的组合要优于 SiO2／MgF2／ITO

．

　 　可 得如 下结 论 ，
如 果要 设计 单层 透明
导 电膜 加 两 层减 反射
膜 的结 构 ， 两种 减反
射 膜的 位 置 关系 最好
是 上面 一层 的折 射率
低 一 些 而下 面一 层的
高 一 些 ， 这 样 能 取得